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第65章 紫光UV光刻机 (第2/2页)

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高,但是这么多人都束手无策的光刻机,难道就这么个小年轻就能搞定?

质疑的目光全部锁定在陆凡身上,陆凡无视所有目光,缓步走到组装成的光刻机前检查起来。

“卢院士你们启动过了吗?”

“还没有呢,组装完成就一直放在这里,主要是它的技术比我们高出太多,很多原理我们都还没吃透,所以不敢贸然动它,万一折腾坏了这么多天的辛苦就全部白费了。”

陆凡点点头直接连接了光刻机的电源启动了这台一纳米光刻机,陆凡则是走到触屏显示器前熟练的操作起来,而且一边编程一边开口介绍它的操作方法。

“卢院士这台一纳米光刻机是属于紫光UV光刻机,它的精微细密度达到了一纳米的程度,算是目前蓝星科技的巅峰之作。

它无论是电机传感器电源还是编码器,都跟你们研究的光刻机不同。

我们操控这架光刻机,首先要调试它的对准系统跟曝光控制扫描控制这三样东西。”

陆凡的双手在触屏上电动,一个个偏僻的代码程序被他编辑而出,四周围观的最低都是博士研究生,但是对于他的操作却是一知半解。

“以上三种体统设置完后,下面就是布局,布局包括硅片布局层次布局跟掩光布局,其余参数之类的编辑我就不说了,你们应该都懂。”

“我现在设计的是一款一纳米精准度的电话卡芯片,这种芯片不同于大家所熟知的芯片,大家请看…”

陆凡示意机器另一旁的工作人员放入制作芯片所需要的硅晶圆光刻胶掩膜版跟遮光板,然后直接启动了刚编程好的光刻机。

机器在一声轰鸣声中运转,随着机器顶部的紫光闪烁,陆凡所站的出料口处被传送出来一排晶莹剔透的晶片,这晶片跟手机卡大小类似,却是通体透明,上面带有金色电路板。

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